[14p-P1-1~25] 8 Plasma Electronics（Poster）

[14p-P1-14] Ultrafast Deposition of DLC by VHF Plasma with Supersonic Jet

〇Kouki Imoto¹, Hiroyuki So¹, Yuya Iwasaki¹, Hiroyuki Tono¹, Hiroshi Muta¹, Satoshi Nishida² (1.Kindai Univ., 2.Gifu Univ.)

Keywords:Diamond Like Carbon Coating

本研究は、超音速噴流を用いたVHFプラズマCVD法により、DLC高速成膜の実現性を調べたものである。メタンとアルゴンの混合ガスをノズル電極より導入し、ガス圧1000Pa程度で60MHzのVHF高周波を印加することで成膜を行った。ガス流量、混合比、基板間隔などの条件により、成膜された膜に違いが生じた。また、その時の成膜速度は約2μm/s程度に達し、高速成膜が十分可能であることが分かった。