13:30 〜 15:30
[14p-P1-15] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン膜の形成
キーワード:ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング、DLC
一般セッション(ポスター講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P1 (展示ホールB)
13:30 〜 15:30
キーワード:ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング、DLC