2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P1 (展示ホールB)

13:30 〜 15:30

[14p-P1-22] マイクロ波励起水素プラズマ照射したナノ結晶ダイヤモンド薄膜表面のXPS分析

中野 嘉紀1、渡邉 孝俊1、森岡 直也2、木村 裕治2、荻野 明久1 (1.静大院工、2.(株)デンソー)

キーワード:マイクロ波プラズマ、ダイヤモンド膜、X線光電子分光法