[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-22] マイクロ波励起水素プラズマ照射したナノ結晶ダイヤモンド薄膜表面のXPS分析

〇中野 嘉紀¹、渡邉 孝俊¹、森岡 直也²、木村 裕治²、荻野 明久¹ (1.静大院工、2.(株)デンソー)

キーワード：マイクロ波プラズマ、ダイヤモンド膜、X線光電子分光法