2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P1 (展示ホールB)

13:30 〜 15:30

[14p-P1-24] Ar/O2混合ガスプラズマを照射したSi表面のアルカリ金属吸着特性

鈴木 淳平1、荻野 明久1 (1.静大院工)

キーワード:マイクロ波プラズマ、アルカリ金属、光支援熱電子発電