[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-25] プラズマ支援反応性スパッタ製膜による窒化アルミニウム薄膜の形成

〇竹中 弘祐¹、佐竹 義旦¹、内田 儀一郎¹、節原 裕一¹ (1.阪大接合研)

キーワード：反応性パルススパッタ