[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

△ [14p-P1-6] 容量結合を考慮した誘導結合プラズマ解析

〇(M1)森山 誠¹、Ganachev Ivan^1,2、中村 圭二¹ (1.中部大工、2.芝浦メカトロニクス)

キーワード：容量結合プラズマ、誘導結合プラズマ、COMSOL