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[14p-P10-47] RF及びDCスパッタリング法で作製したCo/Pd多層膜の磁気特性と光誘起歳差運動
キーワード:Co/Pd多層膜、光誘起歳差運動、磁気異方性
RF及びDCスパッタリング法によって作製したCo/Pd多層膜の磁気特性および光誘起磁化歳差運動の比較をした。RF法ではCo膜厚の薄い試料でも界面の均一性の良い多層膜が得られた。また、RF法では制御性良く磁気異方性を変化させることができ、異方性と歳差運動の関係を追究するのにRF法で作製した試料の方が適している可能性を示唆している。