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[14p-P10-52] エピタキシャルBaフェライト薄膜の作製と磁気特性
キーワード:六方フェライト、エピタキシャル薄膜、結晶磁気異方性
フェライト磁石等に用いられているM型六方晶フェライトであるバリウムフェライト(BaFe12O19:BaM)は、酸化物の中では比較的大きな飽和磁化を有し、さらにc軸を容易軸とする大きな結晶磁気異方性を持つ。スパッタリング法によるBaM薄膜の成膜条件の最適化を試みるとともに、磁気トルク測定を行い磁気異方性に関して評価をしたので報告する。