[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P3-1] ガラス上における大粒径Si_1-xGe_x薄膜の固相成長

〇高原 大地¹、都甲 薫¹、吉峯 遼太¹、末益 崇¹ (1.筑波大院 数理物質)

キーワード：固相成長、SiGe