[14p-P4-1~78] 17 ナノカーボン（ポスター）

[14p-P4-25] グラフェンフレークの酸素還元活性を援用した水中でのGe表面エッチング

中出 和希¹、〇平野 智暉²、李 韶賢²、川合 健太郎¹、森田 瑞穂¹、有馬 健太¹ (1.阪大院工、2.阪大工)

キーワード：還元グラフェン、半導体表面、エッチング

酸化グラフェンを化学的に処理して得た還元グラフェンのフレークをGe表面上に分散・堆積した。そして、この試料を溶存酸素濃度が異なる二種類の純水中に浸漬した。得られた表面形状をAFMにより観察し、酸素ガスが多く溶存した純水に浸した場合のみ、Ge表面上にフレークサイズと同等のピット痕が存在することを見出した。これは、グラフェンの酸素還元活性により、Ge表面のエッチングレートが向上したこと示唆している。