[14p-P4-1~78] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[14p-P4-36] Carbon Nanotubes as a Mask for the Fabrication of Graphene Nanoribbon

〇Yoshifumi Terada¹, Daisuke Yoneda¹, Seiya Suzuki¹, Masamichi Yoshimura¹ (1.Toyota Tech. Inst.)

Keywords:graphene, carbon nanotube

グラフェンナノリボンはバンドギャップと高い電子移動度を持つことから、電界効果トランジスタのチャネル部材として期待されている。バンドギャップを決める因子はリボン幅とエッジ構造であるため、ナノスケールで制御する必要がある。本研究では多層カーボンナノチューブをマスクとする新規のトップダウンプロセスを提案し、リボンの製作および評価を行った。