[14p-P4-1~78] 17 ナノカーボン（ポスター）

[14p-P4-36] CNTをマスクとしたグラフェンのナノリボン化

〇寺田 佳史¹、米田 大祐¹、鈴木 誠也¹、吉村 雅満¹ (1.豊田工大)

キーワード：グラフェン、カーボンナノチューブ

グラフェンナノリボンはバンドギャップと高い電子移動度を持つことから、電界効果トランジスタのチャネル部材として期待されている。バンドギャップを決める因子はリボン幅とエッジ構造であるため、ナノスケールで制御する必要がある。本研究では多層カーボンナノチューブをマスクとする新規のトップダウンプロセスを提案し、リボンの製作および評価を行った。