[14p-P4-1~78] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[14p-P4-65] Raman imaging study of sputtered-MoS₂ films

〇Noriyuki Hasuike¹, Susumu Kamoi², Kenta Seki¹, Yuto Naito¹, Kenji Kisoda³ (1.Kyoto Inst. Tech., 2.Kyoto Prefectural Technology Center, 3.Wakayama Univ.)

Keywords:molybdenum disulfide, Raman imaging

本研究ではスパッタ法で作製したMoS₂膜を対象にラマンイメージング法を用いて膜面内における結晶性評価を行った。成膜温度400℃以上でMoS₂の形成が確認された。また、結晶性回復のために真空中で熱処理を施した試料では試料表面には光顕像において異なるコントラスト円形状の孔が確認された。