13:30 〜 15:30
[14p-P4-65] MoS2スパッタ膜のラマンイメージング評価
キーワード:二硫化モリブデン、ラマンイメージング
本研究ではスパッタ法で作製したMoS2膜を対象にラマンイメージング法を用いて膜面内における結晶性評価を行った。成膜温度400℃以上でMoS2の形成が確認された。また、結晶性回復のために真空中で熱処理を施した試料では試料表面には光顕像において異なるコントラスト円形状の孔が確認された。
一般セッション(ポスター講演)
17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P4 (展示ホールB)
13:30 〜 15:30
キーワード:二硫化モリブデン、ラマンイメージング