[14p-P4-1~78] 17 ナノカーボン（ポスター）

[14p-P4-65] MoS₂スパッタ膜のラマンイメージング評価

〇蓮池 紀幸¹、鴨井 督²、関 健太¹、内藤 祐斗¹、木曽田 賢治³ (1.京工繊大工、2.京都府中小企業技術センター、3.和大教育)

キーワード：二硫化モリブデン、ラマンイメージング

本研究ではスパッタ法で作製したMoS₂膜を対象にラマンイメージング法を用いて膜面内における結晶性評価を行った。成膜温度400℃以上でMoS₂の形成が確認された。また、結晶性回復のために真空中で熱処理を施した試料では試料表面には光顕像において異なるコントラスト円形状の孔が確認された。