[14p-P6-1~14] 3.5 レーザー装置・材料

△ [14p-P6-6] 14W 深紫外レーザーの発生

〇中尾 博明¹、森田 昌幸¹、金田 有史^1,2、宮本 晃男¹、田子 毅¹、佐々 敏明¹、笹浦 正弘¹、古川 保典¹ (1.オキサイド、2.アリゾナ大光科学カレッジ)

キーワード：深紫外レーザー、波長変換

BaB₂O₄ (BBO)結晶及びエンハンスメント共振器を用いた第四高調波発生により、波長266nm (DUV)において最大計測出力14Wを達成した。ここで用いたBBO結晶は、ブリュースタカットした無コートデバイスであるため、DUV光に対して反射損失が生じる。従って、BBO結晶内で発生した総DUV出力は約18W、また可視光からDUV光への実効変換効率は約70%であった。長期動作実験においては、BBO結晶上の同一スポットにて、DUV出力5W以上で500時間を達成した。