[15a-301-1~7] 8.2 プラズマ診断・計測

[15a-301-3] 過ギ酸生成用気液界面誘電体バリア放電プラズマ中の水蒸気密度測定

〇橘 邦英¹、中村 敏浩¹、川崎 三津夫²、森田 達夫³ (1.大阪電通大、2.京大工、3.PMディメンションズ)

キーワード：誘電体バリア放電、気液界面、水蒸気密度

水電極を有する誘電体バリア放電（DBD）における気液界面近傍でのH₂O分子の密度を、波長可変半導体レーザー吸収分光(TDLAS)法を用いて測定した。その結果、気液が上下反転した密閉型装置では通常の非反転型装置に比して、下からのガス流によって水蒸気が上部電極に向って押し上げられるため、相対的に水蒸気密度が低下していることがわかった。そのことが生成される過ギ酸の分率に関わっている。