[15a-301-1~7] 8.2 プラズマ診断・計測

△ [15a-301-5] Ar誘導熱プラズマへのTi原料投入時におけるトーチ内のTi励起温度分布およびTi蒸気混入率の二次元分布の推定

〇兒玉 直人¹、石坂 洋輔¹、清水 光太郎¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、石島 達夫¹、末安 志織²、渡邉 周²、中村 圭太郎² (1.金沢大院自然、2.日清製粉グループ本社)

キーワード：熱プラズマ、分光計測

誘導熱プラズマ(ICTP)を用いた金属材料の処理プロセスでは，ICTPへの微量の金属蒸気の混入がICTPの性状や物性を大きく変化させる．よって，プロセス時におけるトーチ内の金属蒸気混入率分布を検討することは極めて重要である．本発表では，Ar-ICTPへのTi原料投入時におけるトーチ内の温度やTi蒸気混入率の二次元分布の推定結果を述べる．また，Ti原子密度や電子密度分布の推定結果についても述べる．