[15a-303-1~9] 6.6 Probe Microscopy

[15a-303-3] Manufacturing of micro optical device by Scanning Probe Microscope Lithography

〇Shuzo Yamashita¹, Sui Watanabe², Masakazu Ikai², Kohki Mukai^1,2 (1.Graduate School of Engineering, Yokohama National Univ., 2.College of Engineering Science, Yokohama National Univ.)

Keywords:SPM lithography, position control, metamaterial

高度情報化社会の発展に伴う情報の大容量化や信頼性の確保のため、光子を利用した量子情報処理デバイスの実現が期待されており、なかでも単一光子発生源として量子ドット(QD)を利用することが有望視されている。一方、金属ナノ構造体を用いて局在表面プラズモンを制御するメタマテリアルの概念が提唱されている。そこで我々は、微小な共振器となるメタマテリアル構造を、SPMを用い任意の場所に描画作製する技術について検討した。