[15a-303-1~9] 6.6 プローブ顕微鏡

[15a-303-4] 原子間力顕微鏡のための圧縮乾燥空気を利用した湿度制御機構の開発

〇小松 史弥¹、豊田 真理子¹、宮田 一輝¹、福間 剛士^1,2 (1.金大理工、2.ACT-C/JST)

キーワード：原子間力顕微鏡、湿度制御