[15a-311-1~11] 12.2 評価・基礎物性

△ [15a-311-6] 微小領域へ固定された少数個量子ドットの評価

〇伊藤 裕貴¹、坂上 弘之¹、鈴木 仁¹ (1.広大先端研)

キーワード：量子ドット、AFM、XPS

光学ナノデバイスの光子発生源や電子デバイスの単電子島などとしてコロイド状量子ドットを応用するためには，量子ドットをナノ領域に個数を制御して固定するための技術や固定された密度の評価方法の確立が必要である．本研究では，電子線描画装置を用いて作製した金平坦面微小パターン上のみに少数個の量子ドットを固定して，XPSや蛍光顕微鏡では固定量の判別が困難な範囲の量子ドット量の評価をAFMでおこなった．