[15a-315-1~10] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[15a-315-8] 無線電力伝送用AlGaN/GaN電界効果型ダイオードの作製と評価

〇加藤 直樹¹、長田 大和²、上村 隆一郎²、伊東 建治³、分島 彰男¹、江川 孝志¹ (1.名工大院、2.ULVAC、3.金沢工大)

キーワード：窒化物半導体、ダイオード