[15a-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[15a-318-11] 薄型テレビ製造プロセスを用いた高解像フラットパネルX線検出器の開発

〇藤原 健¹、谷野 貴広²、重田 和樹²、岡村 昌紀²、三好 寿顕³、中村 渉³、河西 秀典³ (1.産総研、2.東レ、3.シャープ)

キーワード：X線検出器、ラジオグラフィー、FPD

X線ラジオグラフィーは医療だけでなく、非破壊検査のツールとして工業製品、食品検査、セキュリティ応用など現代社会に欠かせないものとなっている。X線ラジオグラフィに要求される性能は様々だが、多くの用途で高分解能化と大面積化は求められており、かつ現実的な価格で製造できるプロセスが求められる。我々は大面積かつ高空間分解能、長時間積分を可能にする新しいX線FPDを、最先端の薄型テレビを製造するプロセスで開発している。X線を可視光に変換するシンチレータにはプラズマディスプレイの製造プロセスを応用し、シンチレータ内部に微細なグリッド状の構造を持った隔壁シンチレータを用いて高解像と高検出効率を両立させた。受光部には液晶テレビの技術を応用して低リークTFTを用いて長時間露光を可能とした。