[15a-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[15a-318-6] 波長 4 nm 軟X線用 Cr/Sc/Mo 多層膜コンデンサーミラーの開発

〇羽多野 忠¹、江島 丈雄¹ (1.東北大多元研)

キーワード：多層膜、水の窓軟Ｘ線、反射率計測

波長 4 nm のレーザー生成プラズマ光源を用いた軟Ｘ線顕微計測法開発のため、斜入射多層膜を用いたコンデンサーミラーを開発した。従来研究で、トロイダルミラー基板に 20 周期 Cr/Sc 多層膜をコーティングして多層膜が基板から剥離した前例がある。今回は 10 周期 Cr/Sc/Mo 多層膜ミラーをトロイダルミラー基板にコーティングすることに成功した。放射光施設で反射率を実測し、波長 3.9 – 4.0 mm の範囲で 10% 以上の反射率があることを確認した。