[15a-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[15a-318-7] SPring-8兵庫県ビームラインBL24XUにおけるコヒーレントX線回折イメージング法の開発

〇高山 裕貴^1,2、高見 侑希¹、宮川 天将¹、篭島 靖¹ (1.兵庫県立大物質理、2.理研RSC)

キーワード：コヒーレントX線回折イメージング、ナノイメージング、X線顕微法

SPring-8兵庫県ビームラインBL24XUにおいて、ナノメートル分解能での構造評価を目指し、コヒーレントＸ線回折イメージング法の開発を行ったので報告する。本手法ではミクロンサイズの非晶質試料にコヒーレントＸ線を照射して回折パターンを取得し、位相回復アルゴリズムにより試料投影電子密度像を再生する。多くの場合真空中に試料を置くが、BL24XUでは比較的高光子エネルギーの8～10 keVのX線を利用し、試料前後に窒化シリコン製の真空隔壁を置くことで大気中での測定を可能とした。ピンホール－スリット光学系により1×10¹⁰ photons/16 μmφ(FWHM)/secのX線を照射し、試料下流約4.1 mに設置したPilatus2により空間周波数66～82 μm^-1まで回折パターンを取得できる。本手法により、金粒子内部空隙の評価を行った。