2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15a-419-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2017年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 419 (419)

清水 亮太(東工大)

09:15 〜 09:30

[15a-419-2] Synthesis and Characterization of ZnO and Al Doped ZnO Nanostructures by Using Advanced Spray Pyrolysis Deposition Technique

Attanayake Sameera1、Bandara Ajith1、奥谷 昌之2、〇村上 健司2 (1.静岡大創造院、2.静岡大総合院)

キーワード:transparent conductive oxide, spray pyrolysis deposition, nanostructure

We have synthesized ZnO seed layers and Al-doped ZnO nanostructures continuously by using the Advanced Spray Pyrolysis Deposition technique. In this report the structures and the properties of synthesized layers are discussed.