[15a-422-1~12] 3.13 Semiconductor optical devices

[15a-422-11] Thermal Resistance Analysis of VCSELs Considering Thermal Conductivity Reduction Effect of
Thin Multi-layer Structure

〇(M1)Masaki Mimura¹, Tomoyuki Miyamoto¹ (1.FIRST, Tokyo Tech)

Keywords:semiconductor laser, vcsel, optical wireless power transmission

面発光レーザ(VCSEL)アレイの高効率・高出力密度化には, デバイス熱抵抗の高精度設計が必要である. 熱抵抗設計は比較的容易に解析できるため, VCSELの熱抵抗解析も多数の報告例がある. 一方で, DBR厚さ程度以下の薄膜積層構造では, バルク材料の熱伝導率から大きく特性が変わるという報告がある. 今回, この薄膜積層構造の熱伝導減少効果が, VCSELのデバイス熱抵抗にどのように影響するのかを解析したので報告する.