[15a-422-1~12] 3.13 半導体光デバイス

[15a-422-8] 微小円錐台を光取り出し構造に用いた高出力・高効率AlGaInP薄膜LED

〇王 学論¹、熊谷 直人¹、郝 国棟¹ (1.産総研)

キーワード：AlGaInP、発光ダイオード、取出し効率

形状の制御された微小円錐台を光取出し面に賦形した高出力薄膜型AlGaInP赤色LEDを作製した。その結果、デバイスの最大外部量子効率（～39.3%、樹脂封止後）は従来のランダム微小凹凸賦形技術（～30%）より約10%高いことが分かった。FDTD法で取出しメカニズムを調べた結果、微小円錐台構造は、従来のランダム微小凹凸構造に比べて、高角度入射光に対する取出し効率が高いことが判明した。