2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » CS.4 7. コードシェアセッション:ビーム応用大分類

[15a-423-1~9] CS.4 7. コードシェアセッション:ビーム応用大分類

2017年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 423 (423)

横尾 篤(NTT)、中川 勝(東北大)

11:00 〜 11:15

[15a-423-8] ナノインプリントによるオーバーハング型マイクロピラーアレーの形成

柳下 崇1、佐原 里香1、益田 秀樹1 (1.首都大都市環境)

キーワード:ポーラスアルミナ、ナノインプリント

ポーラスアルミナを出発構造として作製したモールドを用いたナノインプリントプロセスによりオーバーハング型マイクロピラーアレーの形成を行った結果を報告する.