[15a-502-1~12] 21.1 Joint Session K

△ [15a-502-11] Effect of N and Mg doping on solid-phase crystallization of amorphous CuCrO₂ thin films

〇Hiroshi Chiba^1,2, Naotoshi Hosaka¹, Tomoyuki Kawashima¹, Katsuyoshi Washio¹ (1.Tohoku Univ., 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:Delafossite oxide, p-type transparent conductive oxide, Solid-phase crystallization

p型のデラフォサイト型透明導電酸化物：CuCrO₂膜（CCO）において、Ar/N₂混合雰囲気でスパッタにより形成したMg添加アモルファスCuCrO₂薄膜（Mg-CCO）の固相成長（SPC）が低抵抗化に有効であることを示した。本研究では、SPCにおける結晶成長機構と低抵抗化メカニズムの解明を目的とし、SPCにおけるNとMg添加の効果について検討した。