[15a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [15a-502-11] アモルファスCuCrO₂薄膜の固相成長におけるNとMg添加の効果

〇千葉 博^1,2、保坂 直寿¹、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工、2.学振特別研究員DC)

キーワード：デラフォサイト型酸化物、p型透明導電酸化物、固相成長

p型のデラフォサイト型透明導電酸化物：CuCrO₂膜（CCO）において、Ar/N₂混合雰囲気でスパッタにより形成したMg添加アモルファスCuCrO₂薄膜（Mg-CCO）の固相成長（SPC）が低抵抗化に有効であることを示した。本研究では、SPCにおける結晶成長機構と低抵抗化メカニズムの解明を目的とし、SPCにおけるNとMg添加の効果について検討した。