[15a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-502-4] アニール時の元素吸着・脱離による酸化亜鉛膜の特性変化

〇杉浦 怜¹、正力 幹也¹、舩木 修平¹、山田 容士¹ (1.島根大総理工)

キーワード：酸化亜鉛、スパッタリング、アニール