[15a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-502-5] 多結晶ZnO系透明導電膜の電気的特性と結晶性との関係

〇宇於崎 涼介¹、渡辺 恭輔¹、宮田 俊弘¹、南 内嗣¹ (1.金沢工大　OEDS R&D センター)

キーワード：AZO