[15a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [15a-502-6] アフターアークプラズマ型酸素負イオン照射装置における時間分解プローブ測定

〇北見 尚久^1,2、野本 淳一²、酒見 俊之¹、牧野 久雄^2,3、青木 康¹、山本 哲也² (1.住友重機械、2.高知工科大総研、3.高知工科大システム工)

キーワード：酸素負イオン、酸化亜鉛、プラズマ診断