[15a-503-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-503-5] MOVPE法によるAlN成長における窒化温度の影響

〇河合 祥也¹、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹ (1.三重大院工、2.三重大地域イノベ)

キーワード：AlN成長