[15a-503-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [15a-503-6] アニール処理したスパッタ AlN膜上に形成したAlGaNの特性

〇袴田 淳哉¹、川瀬 雄太¹、岩山 章¹、岩谷 素顕¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、赤﨑 勇^1,2、三宅 秀人³ (1.名城大理工、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：AlGaN