2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[15a-512-1~12] 3.7 レーザープロセシング

2017年3月15日(水) 09:00 〜 12:15 512 (511+512)

長谷川 智士(宇都宮大)、飯野 敬矩(奈良先端大)

11:00 〜 11:15

[15a-512-8] フェムト秒レーザー支援アニールによるSiC上へのNi電極作製

〇(M1)川上 博貴1、直井 美貴1、富田 卓朗1 (1.徳島大工)

キーワード:フェムト秒レーザー、オーミック電極