[15a-512-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[15a-512-9] 窒素雰囲気中でのサファイア基板へのフェムト秒レーザー照射

〇(B)後藤 兼三¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：フェムト秒レーザー

フェムト秒レーザーによる非線形光学効果を利用し、サファイア基板への局所的な構造形成と窒素ガスを用いた窒素結合形成を試みた。窒素雰囲気で 1 Wで照射したサファイア基板表面では、レーザーの偏光方向に垂直で、約250 nm周期の周期構造が形成された。0.8 Wで照射した領域では、窒素イオンやAlONイオンの検出カウントが上がり、窒素結合が形成されたことをTOF-SIMSにより確認した。