[15a-B6-1~11] 17.2 グラフェン

[15a-B6-11] グラフェンゲートトランジスタによる高感度ガスセンシング

〇佐藤 信太郎¹、原田 直樹¹、林 賢二郎¹、片岡 真紗子¹、山口 淳一¹、大伴 真名歩¹、大淵 真理¹、曽我 育生¹、近藤 大雄¹、岩井 大介¹ (1.富士通研)

キーワード：グラフェン、ガスセンサ、トランジスタ

グラフェンを利用した新たなガスセンサを開発した．本センサは，シリコントランジスタのゲート部分をグラフェンで置き換えた構造を持つ．ガス分子がグラフェンに吸着すると，グラフェンの仕事関数が変化し，その結果シリコントランジスタの閾値が変化する，という原理によりガスを検出する．開発したセンサは，NO₂に対して1 ppb以下の感度を持つことが明らかとなった．さらにガス種に対する選択性を持つこともわかった．