[15a-P11-1~15] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15a-P11-12] Preparation and evaluation of liquid phase crystallized silicon thin film on glass for photovoltaic application

〇Hiroshi Umishio^1,2, Takuya Matsui¹, Hitoshi Sai¹, Takeaki Sakurai², Koji Matsubara¹ (1.AIST, 2.Tsukuba Univ.)

Keywords:crystalline silicon thin film, Liquid phase crystallization, Thin film silicon solar cell

太陽電池の低コスト化へ向けた結晶シリコンの薄型化の技術として、近年、ガラス基板上に堆積したアモルファスSi膜を高強度のラインレーザーあるいは電子ビームを用いて瞬間溶融・固化する液相結晶化法（Liquid Phase Crystallization：LPC)が提案されている。LPCを用いて作製した液相結晶化シリコン薄膜に関して、太陽電池への応用へ向けた膜特性調査のため、キャリアライフタイム及びキャリア移動度を調査した。