[15a-P11-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-P11-12] 太陽電池応用に向けたガラス基板上への液相結晶化シリコン薄膜の形成と評価

〇海汐 寛史^1,2、松井 卓矢¹、齋 均¹、櫻井 岳暁²、松原 浩司¹ (1.産総研、2.筑波大)

キーワード：結晶シリコン薄膜、液相結晶化法、薄膜シリコン太陽電池

太陽電池の低コスト化へ向けた結晶シリコンの薄型化の技術として、近年、ガラス基板上に堆積したアモルファスSi膜を高強度のラインレーザーあるいは電子ビームを用いて瞬間溶融・固化する液相結晶化法（Liquid Phase Crystallization：LPC)が提案されている。LPCを用いて作製した液相結晶化シリコン薄膜に関して、太陽電池への応用へ向けた膜特性調査のため、キャリアライフタイム及びキャリア移動度を調査した。