[15a-P11-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-P11-14] SiN_x/Si構造の電気特性におけるファイヤースルー処理の影響（II）

〇堀川 裕貴¹、森 英喜¹、新船 幸二¹、佐藤 真一¹、吉田 晴彦¹ (1.兵県大工)

キーワード：パッシベーション、太陽電池