[15a-P11-1~15] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15a-P11-2] Change of electric characteristics at a-Si/ITO interfaces by B Cat-doping

〇Katsuya Akiyama¹, Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST)

Keywords:Silicon heterojunction solar cells

Siヘテロ接合太陽電池への応用を目的に、a-Si膜へのB Cat-dopingがa-Si/ITO接合の電気特性におよぼす効果を調査した。水素流量を系統的に変化させてi-a-Si膜へのBのCat-dopingを行い、Al/B Catドープ層/i-a-Si/p-c-Si/Al構造をもつ試料を作製した。Cat-dopingを行った試料は、Cat-dopingを行っていない試料と比較して逆バイアス印加時の電流値が大きいことを確認した。この結果から、Cat-dopingがa-Si/ITO界面の電気特性改善に有効であることを明らかにした。