[15a-P11-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-P11-6] 平坦なp-n接合断面における局所仕事関数測定

〇(PC)山田 郁彦¹、神岡 武文¹、水野 皓登¹、大下 祥雄¹、神谷 格¹ (1.豊田工大)

キーワード：太陽電池、KFM、仕事関数測定

我々はデバイス動作状態すなわち光照射下におけるAFMを用いたナノスケール仕事関数測定により結晶Si太陽電池の表面構造電子状態解析を試みている。この研究において、仕事関数測定の分解能向上が必須となる。結晶Si太陽電池断面は複雑な形状となるため、形状が仕事関数測定に与える影響が不明確なため、平坦な断面が得られるGaAs基板を用いて評価を行った。その結果、装置の分解能は結晶Si太陽電池の解析に十分であることが分かった。