[15a-P2-1~8] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[15a-P2-8] Microfabrication of Celluloid Microlens Array Using XeF₂ Vapor Etching and SUMP Method

〇Akihiro Matsutani¹, Ayako Takada² (1.Semiconductor and MEMS, Tokyo Tech, 2.Bio, Tokyo Tech)

Keywords:microlens

細胞の機能の解析や医療分野の応用への単一細胞操作のため，我々はマイクロピラーアレイ構造のマイクロ囲いを開発して大腸菌や酵母の単一細胞分離やサイズ分離に成功した。この単一細胞分離構造にレンズを組み合わせれば，光でトラップするなどの細胞操作機能も加えることが期待できる。今回は， XeF₂気相エッチングにより形成されたSiモールドを用いたスンプ法によるマイクロレンズアレイを製作し，集光機能を確認したので報告する。