[15a-P4-1~13] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[15a-P4-1] Depositing Nanoparticles on Silicon Substrate Using a Freeze Drying Technique

〇Tomoo Sigehuzi¹ (1.AIST)

Keywords:nanoparticle, AFM, freeze drying

比較的高温の冷凍機を用いて熱伝導率の低いシリコン基板上にナノ粒子分散液を凍結乾燥展開する手法を開発した。粒径50nm程度以上のナノ粒子で孤立粒子主体の試料が得られることが、AFM計測から分かった。