[15a-P4-1~13] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[15a-P4-4] The electrical characteristics of the crystal plate when organic film stuck,and the temperature special quality

〇Atsushi Itoh¹ (1.ULVAC,Inc)

Keywords:OLED, film thickness monitor, motional resistance

QCMを原理とした膜厚モニタには従来５ＭＨｚまたは６ＭＨzの水晶板が長年使われてきた。
有機ELのための有機膜のモニタにはより周波数低い水晶板が良いことを見出した。