[15a-P4-1~13] 1.5 計測技術・計測標準

[15a-P4-4] 有機膜が付いたときの水晶板の電気特性と温度特性

〇伊藤 敦¹ (1.アルバック)

キーワード：有機EL、膜厚計、等価抵抗

QCMを原理とした膜厚モニタには従来５ＭＨｚまたは６ＭＨzの水晶板が長年使われてきた。
有機ELのための有機膜のモニタにはより周波数低い水晶板が良いことを見出した。