[15a-P5-1~9] 6.4 薄膜新材料

[15a-P5-4] 触媒反応支援CVD法により堆積した非極性ZnO膜の偏光特性

〇安井 寛治¹、田島 諒一¹、池田 宗謙¹、安達 雄大¹、加藤 有行¹ (1.長岡技科大)

キーワード：酸化亜鉛、触媒反応、偏光

紫外発光デバイス用材料としてZnOが注目されている．ただ良質な結晶膜が成長するc面ZnO膜は成長軸に沿って内蔵電界が発生するため，量子井戸構造のデバイスにおいて発光効率が低下することが懸念される．本研究では触媒反応支援CVD法により非極性面であるa面ZnO膜を成長させ，その発光特性を調べたところバンド端発光において強い偏光角依存性を示したので報告する．