[15a-P5-1~9] 6.4 薄膜新材料

[15a-P5-9] 金属有機構造体(MOF)薄膜をメモリ層に用いたCBRAMの検討

〇西村 悠希¹、中道 卓也¹、上代 洋²、木下 健太郎^1,3 (1.鳥取大学、2.新日鐵住金、3.TiFREC)

キーワード：導電性ブリッジメモリ、金属有機構造体、多孔性配位高分子