[15a-P6-1~13] 6.5 表面物理・真空

[15a-P6-5] Si(001)表面吸着原子の吸着と脱離分析

〇森田 一帆¹、武田 さくら¹、江波戸 達哉¹、比嘉 友大¹、藤中 秋輔¹、森本 夏輝¹、米田 允俊¹、Artoni Kevin R. Ang¹、大門 寛¹ (1.奈良先端大)

キーワード：シリコン、酸化